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選擇適用於任何特定潔淨室應用的潔淨室刮水器時,始終必須了解背景環境的清潔度以及殘留物,土壤和溶液的性質,刪除或應用。指導了潔淨室刮水器的選擇,應當指出,目前尚無確定特定刮水器是否適用於環境的測試。該表基於在特定環境中對常規刮水器類型的歷史使用情況提出的建議。如果刮水器滿足應用程序的需求,則用戶應始終做出最終決定。




庫板潔淨室的等級取決於其空氣量中包含多少給定尺寸的顆粒。例如, 每立方英尺(或立方米)風量,一類100級潔淨室包含100個(或3500個)尺寸為0.5μm或更大的顆粒。辦公室裡的人們在100,000級無塵室中工作。與放置在100級無塵室中的晶片相比,辦公室中的晶片對它們的影響將多1000倍。

描繪了各種類型的潔淨室的粒度分佈曲線。由於微粒的數量越小,微粒的數量就越多,因此隨著最小IC特性的縮小,對潔淨室的要求也越來越嚴格。通常,10級潔淨室足以進行IC處理(氧化,注入),但光刻步驟需要更無顆粒的環境,例如1級潔淨室。在Intel所穿的服裝中可以看到需要宇航服類型保護的證據。隨著需求的發展,所採取的措施將更加詳盡。順便提一句,還必須注意,根據英特爾的說法,1級潔淨室的清潔度是最潔淨手術室的 10,000倍 。我們還注意到IC 製造中使用的水 是地球上最乾淨的,因為即使是最微小的微生物也會在IC中造成大量缺陷。

 

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